真空镀膜和光学镀膜的原理和区别
1、真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。
2、光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜,一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。
真空电镀是在真空条件下用蒸发器加热待蒸发物质,使其气化并向基板运输在基板上冷凝形成固态薄膜的过程。
真空电镀与其他气相沉积技术相比有许多优点:设备比较简单、容易操作;制备的薄膜纯度高、成膜速度快;薄膜生长机理简单,易控制和模拟。
真空电镀技术的不足:不易获得结晶结构的薄膜;沉积的薄膜与基板的附着性较差;工艺重复性不够好。
真空蒸发镀膜原理
(1、基片加热电源;2、真空室;3、基片架;4、基片;5、膜材;6、蒸发盘;7、加热电源;8、排气口;9、真空密封;10、挡板;11、蒸汽流)
真空电镀工艺可能遇到的问题及对策
3.真空室内残余气体压力对膜层的影响
真空室内残余气体的压力对膜性能的影响较大。压力过高残余气体分子不但已与蒸发粒子碰撞使其入射到基片上的动能减小影响膜的附着力。而且,过高的残余气体压力还会严重影响膜的纯度,使涂层的性能降低。
4.蒸发温度对蒸发涂层的影响
蒸发温度对膜性能的影响是通过蒸发速率随温度变化而表现出来。当蒸发温度高时,汽化热将减小。如果膜材在蒸发温度以上进行蒸发时,即使是温度稍有微小的变化,也可以引发膜材蒸发速率的急剧变化。因此,在薄膜的沉积过程中采取准确的控制蒸发温度,避免在蒸发源加热时产生大的温度梯度,对于易于升华的膜材选用膜材本身为加热器,进行蒸镀等措施也是非常重要的。
5.基体与镀膜室的清洁状态对涂层性能的影响
基体与镀膜室的清洁程度对涂层的性能影响是不可忽略的。它不仅会严重影响沉积膜的纯度,而且也会减小膜的附着力。因此对基体的净化对真空镀膜室及室内的有关构件(如基片架)进行清洁处理和表面去气均是真空镀膜工艺过程中不可缺少的过程。
真空蒸发镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>烘烤>离子轰击>预熔>蒸发沉积>冷却>取件>后处理>成品
真空溅射镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤、轰击>预熔>溅射沉积>冷却>取件>后处理>成品
真空离子镀工艺流程
工件>镀前处理>装件>抽真空>烘烤>离子轰击>离子沉积>冷却>取件>后处理>成品
以上信息由专业从事耳机配件真空电镀厂家的瑞泓科技于2024/4/18 10:15:55发布
转载请注明来源:http://changde.mf1288.com/ruihong88-2737432339.html