洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净室的管理规范：
1、严格各类设备，设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备，设施按要求正常运转，包括净化系统，各类水，气，电系统，生产工艺设备和工具（工具夹）等，以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别。
2、清扫，灭菌管理，对洁净室内的各类设备，设施的清扫，灭菌以及方法，周期和检查明确的规定，防止，梢除洁净室内尘粒，微生物的生产，滞留，繁殖。
无尘车间怎么防潮？
1.首先，车间的全体布局一定要科学合理，不该人为的加以改动，以保证在遇到问题时能够准确剖析其原因。
2.将需要防潮的电器设备等关闭隔开，防止湿气进入电气设备所在空间发生漏电风险，也能够采取增设间隔屏障，密封等措施。
3.假如受条件限制的确阻止不了湿气的进入，能够运用引风机、排湿通风口等将湿气排出。
4.选材时，选用一些具有防潮或许带有吸湿性能的材料。
5.加热枯燥，用加热的办法使区域变得枯燥起来，驱走湿气。
6.用密封材料堵住湿气能够进入设备所在空间的通道。
以上信息由专业从事净化工程设计安装施工的云洁净化于2023/6/10 11:18:22发布
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